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污水凈化設備由于外加電場起作用，介質放電產生大量攜能電子轟擊污染分子，使其電離、解離和激發，然后引發一系列復雜的化學、物理反應，使復雜的大分子污染物變為簡單的小分子安全物質，或使毒害物質變成無毒害或低毒害的物質，從而污水凈化設備處理得以降解去除。
因為其電離后產生的電子平均能量在10ev左右，污水凈化設備適當控制反應條件可以實現一般情況下難以實現或速度很慢的化學反應變得十分快速。
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